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Lecture Notes on Principles of Plasma Processing

Cover von Lecture Notes on Principles of Plasma Processing

Chen, Francis F/Chang, Jane P

Springer Verlag GmbH

160.49

(inklusive MwSt.)

Verfügbarkeit: Besorgungstitel, Festbezug

Weitere Details

Erschienen: 31.01.2003

Umfang: xi, 208 S., 177 s/w Illustr., 208 p. 177 illus. Wi

Sprache: ENG

Einband: KT

ISBN/EAN: 9780306474972

Umbreit-Nr.: 6104435

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