Ebenheits- und Rauheitsmessung mittels Speckle-Interferometrie

Zusatztext

Steigende Anforderungen an die Qualität technischer Oberflächen bezüglich geometrischer Toleranzen und Oberflächeneigenschaften können nur umgesetzt werden, wenn sie auch messtechnisch erfasst werden können. Diese Arbeit präsentiert ein neuartiges Verfahren zur gleichzeitigen quantitativen Erfassung von Topografie und Rauheit bei technischen Oberflächen unter Einsatz von Speckle-Interferometrie und multivariater Datenanalyse. Das vorgestellte Messverfahren arbeitet berührungslos und zerstörungsfrei und ist darüber hinaus in der Lage, im Bruchteil einer Sekunde verschiedene Rauheitskenngrößen und Informationen zur Oberflächenform zu liefern.

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