On UV-Nanoimprint-Lithography as Direct Patterning Tool for Polymeric Microsystems
TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH
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Weitere Details
Erschienen: 15.05.2012
Umfang: 216 S., 13 farbige Illustr.
Sprache: ENG
Einband: KT
Format: 1.4 x 21 x 14.8 cm
ISBN/EAN: 9783942710657
Umbreit-Nr.: 3287503
