TRAITEMENT PLASMA DE MATERIAUX ORGANOSILICIES EN MICROELECTRONIQUE
APPLICATIONS EN LITHOGRAPHIE AVANCÉE ET COMME ISOLANT D''INTERCONNEXION
Éditions universitaires européennes
€79.00
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Weitere Details
Erschienen: 27.10.2010
Umfang: 264 S.
Sprache: FRE
Einband: KT
Format: 1.7 x 22 x 15 cm
ISBN/EAN: 9786131537745
Umbreit-Nr.: 4750823
